高效清洗剂 HEC-831C系列

高效清洗剂 HEC-831C系列

清洗石墨舟

  • 清洗石墨舟;
  • 可降低40%以上HF的用量,节约成本;
  • 缩短石墨舟的清洗时间,清洗更彻底。

清洗返工片

  • 清洗产线黄金片及彩虹片等返工片效果好;
  • 降低返工片酸耗,可同时降低35%-40%HF及HCl的用量;
  • 返工片去膜效果好,降低酸耗的同时,可以进一步优化去膜时间。

文档下载

资料准备中...

工艺流程图
刻蚀后镀膜前